style="width:10in;height:2.16042in" /> 本文是学习GB-T 29846-2013 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了印制板用光成像耐电镀抗蚀剂的术语和定义、性能、试验方法、检验规则和包装。
本标准适用于印制板制造用的光成像耐电镀抗蚀剂、光成像抗电镀剂、光成像抗酸性蚀刻剂和光成
像抗碱性蚀刻剂。
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 191—2008 包装储运图示标志
GB/T 2036—1994 印制电路术语
GB/T 2421.1—2008 电工电子产品环境试验 概述和指南
GB/T 4677—2002 印制板测试方法
GB/T 4588.2—1996 有金属化孔单双面印制板分规范
GB/T 5547—2007 树脂整理剂 黏度的测定
GB/T 6753.1—2007 色漆、清漆和印刷油墨 研磨细度的测定
GB/T 2036—1994界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
辊 涂 roller coating
将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂用传动方式涂在辊涂机的涂布辊表面，然后再转印到承印物的
过程。
3.2
无图形网印 screen printing of no pattern
用无图形网版，将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂网印至承印物的过程。
3.3
浸涂 soak coating
用浸入的方法将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂均匀涂布的过程。
3.4
预干燥 predrying(pre-drying)
印制板用光成像耐电镀抗蚀剂由液态变为固态的过程为预干燥。
3.5
曝光能量 exposure energy
感光体接收紫外光辐射使其完全固化所需的能量，用mJ/cm² 表示。
GB/T 29846—2013
3.6
曝光级数 step of exposure
用光梯尺做底片，曝光、显影后目视全部露铜的首格所对应的数值。
3.7
后固化 later curable(postcuring)
为加强光成像耐电镀抗蚀剂耐电镀和抗蚀能力，显影后再加热或用紫外光方式加强固化的过程。
3.8
耐电镀性 plating resistance
印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其图形掩膜耐电镀的能力。
3.9
抗蚀刻性 etching resistance
印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其掩膜抗蚀刻的能力。
成像前的性能见表1。
表 1 成像前的性能
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最小线宽和线间距见表2。
表 2 最小线宽和线间距
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耐电镀性见表3。
GB/T 29846—2013
表 3 耐电镀性
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抗蚀刻性见表4。
表 4 抗蚀刻性
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根据GB/T 4588.2—1996 综合测试图中的“F"制备三个样品。"F
”中线宽和线间两组图形分别改
为0.075 mm 和0.010 mm。 样品可以是产品图形的一部分。
试样制造及数据计算见附录 A。
取样50 g～80g 于烧杯中静置5 min 后，按GB/T 4677—2002 中的5.1.1测试。
取样200 g 按 GB/T 5547—2007在25℃±0.5℃的环境中测试。
取4滴～5滴按GB/T 6753.1—2007进行测试。
按GB/T 4677—2002 中的5.1.1测试。
GB/T 29846—2013
按5.1的要求制样后，按GB/T
按5.1的要求制样后，按GB/T
按5.1的要求制样后，按 GB/T
4677—2002 中的5. 1.2测试。
4677—2002 中的8. 1.6测试。
4677—2002 中的5. 1. 1测试。
除非另有规定，所有试验均应在GB/T
2421.1—2008规定的试验标准大气压下进行，即：
a) 温度为15℃~35℃;
b) 相对湿度为45%～75%;
c) 大气压力为86 kPa～106 kPa。
检验分类包括：
a) 鉴定检验；
b) 质量一致性检验。
检验样品应由生产中通常使用的工艺、设备制造。随机抽取500 g
样品置于室内保存，其中300 g
用于表5中第1项～第3项的检验。进行表5中的第4项～第7项检验时，应从余下的200g
样品中取
适量制成3个具有试验图形的样板(图形也可以是产品的一部分)。
鉴定检验项目、要求、试验方法及允许不合格品数应按表5规定。
表 5 鉴定检验
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GB/T 29846—2013
按表5的全部检验项目检验，全部达到要求条款则鉴定检验为合格，否则为不合格，不合格应拒绝
授予鉴定合格证。
质量一致性检验分为逐批检验和周期检验。
使用同一批原材料，在相同工艺条件下，生产的一釜产品为一个生产批；检验批构成应不多于4个
生产批。
逐批检验项目应按表6的规定。逐批检验即为材料的交货检验。抽样方案同鉴定检验。
表 6 逐批检验
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材料连续生产时按周期检验。周期检验项目按表7规定。周期检验样品应从通过逐批检验的某一
批次产品中抽取。已通过逐批检验材料不得因等待周期检验结果而推迟交货。抽样方按同鉴定检验。
表 7 周期检验
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逐批检验均满足表5中的逐批检验项目要求，则该批检验合格，否则视为该批初检不合格。承制方
可对其返工并证明克服缺陷后，在增倍抽样的条件下进行复检。重新交付的检验批应与正常批分开，并
应清楚的注明重新检验批。复检不合格，则该批不合格。
周期检验均满足表5中的周期检验项目要求，则该周期检验合格；否则视为周期检验不合格，并停
止供货。承制方应寻找不合格的原因并进行纠正，在未证明缺陷已克服前，不应交付。
GB/T 29846—2013
除非另有规定，标志应符合GB/T191—2008 的规定并应包括如下内容：
a) 公司名称；
b) 地址；
c) 产品名称、型号、批号、生产日期；
d) 储存期限。
产品合格证，合格证上应有：
a) 生产批号；
b) 总检盖章及检验日期；
c) 本标准名称及编号。
包装应具备防止紫外线照射、保护产品不受损坏和避免受潮的措施。
1 kg 、4 kg 、5 kg 、20 kg。
可用任何方式运输，防止机械损伤、挤压或碰撞、日晒和雨淋，并远离火源。
应在不大于25℃和相对湿度不大于75%的通风良好的室内存放，有效期限180 d。
GB/T 29846—2013
(规范性附录)
试样制造及相关数据的测试和计算
A.1 范围
本附录规定了印制板用光成像耐电镀抗蚀剂的试样制造及相关数据的测试和计算。
A.2 环境
A.2.1 成像环境
印制板用光成像耐电镀抗蚀剂从开桶至显影结束应在577 nm～597 nm
黄色安全光下或在避免白
炽灯和阳光直射的环境中操作。
A.2.2 操作环境
十万级净化室或自建接近于十万级的净化室。也可以按产品要求选择净化环境。
A.3 成像工艺
A.3.1 成像流程
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A.3.2 成像工艺要求
成像工艺要求如下：
a) 涂布方式根据产品要求可选择网印、辊涂、浸涂；
b) 预干燥条件为温度75℃±5℃,时间15 min～30min
或根据涂布的厚度确定预干燥的温度和
时间。干燥方式可选择烘道或烘箱。成膜厚度为5μm～20μm;
c) 曝 光
曝光参数如下：
1) 光源的选择：高压汞灯系列，功率不小于3 kW;
2) 曝光能量：50 mJ/cm²~150 mJ/cm²(测试及计算方法见 A.4.1);
3) 曝光级数：21级光梯尺，7～9级(测试方法见 A.4.2)。
d) 显影：
显影液配方是质量分数为0 .8%～1 . 2% NaCO₃
溶液。显影条件为温度28℃~32℃,喷淋压
力1 . 5 kg/cm²~2.0kg/cm², 时间不超过100 s。
GB/T 29846—2013
e) 可在120℃~130℃中后固化15 min～30 min;
f) 褪掩膜
褪掩膜要求如下：
1) 褪掩膜溶液为质量分数为5%的 NaOH;
2) 褪掩膜条件：机械喷淋时，温度在50℃~55℃,喷淋压力2.5 kg,时间不超过1.5
min;
3) 手工褪掩膜：手工褪掩膜时，可适当将温度升高至50℃,时间自控。
A.4 测试与计算
A.4.1 曝光能量的测试和计算
测试曝光能量选用250 nm～420nm 的紫外光能量计或紫外光度计。
当使用紫外能量计时，将能量计置于曝光匣玻璃或绦纶片的下侧，传感窗口与光源相对，灯距和被
曝光的产品相同，取出观察，显示屏所示数值即为曝光能量。
当使用紫外光度计时，用mW/cm²
档(探头与紫外光能量计的传感窗口位置相同)设定时间(s) 取
出观察，显示屏所示的数据为 mW/cm²
的值。紫外光度计光能量计算公式见式(A.1):
E=I ·t … … ………… … … … …(A. 1)
式中：
E—— 光能量，单位为毫焦每平方厘米(mJ/cm²);
I— 光源功率，单位为毫瓦每平方厘米(mW/cm²);
t — 时间，单位为秒(s)。
曝光能量的测试和计算应符合 A.3.2c)2)。
A.4.2 曝光级数的测试
A.4.2.1 测试工具
测试工具为21级光梯尺。
A.4.2.2 样板制作
测试样板的制作可选用50 mm×150
mm单面覆铜箔，抗蚀剂层涂布厚度应与产品相同，并进行预
干燥。
A.4.2.3 试验过程
将光梯尺覆在样板经涂复抗蚀剂预干燥后的表面曝光，曝光后停留5 min
后显影，显影后观察，首
格露铜所对应的数值即为测试的级数，应符合 A.3.2c)3) 的要求。
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